精研加工，簡稱“超精加工”，一般是指在良好的潤滑條件下，被加工工件按一定的速度旋轉(zhuǎn)，油石按一定的壓力彈性地壓在工件加工表面上，并在垂直于工件旋轉(zhuǎn)方向按一定規(guī)律作往復(fù)振蕩運(yùn)動的一種能夠自動完成的光整加工方法。

超精研加工創(chuàng)始于美國，但是現(xiàn)在在歐洲和日本得到了進(jìn)一步的發(fā)展和提高，高端超精機(jī)不停迭代。德國的SUPERFINA、THIELENHAUS和NAGEL公司，日本的精工、東洋工業(yè)和大阪精機(jī)公司都是世界聞名的，國內(nèi)有鈺芹，無錫，新一代藍(lán)馬，揚(yáng)名，對超精研加工工藝及裝備的研究水平及產(chǎn)品均處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。如：德國的SUPERFINA公司生產(chǎn)的軸承套圈溝（滾）道超精機(jī)采用西門子數(shù)控系統(tǒng)，具有CRT屏幕顯示，用NC技術(shù)控制工件的轉(zhuǎn)速、油石振蕩頻率、油石壓力、油石位置和加工時間，可以儲存與工件有關(guān)的加工參數(shù)，還可隨時調(diào)用機(jī)床調(diào)整程序和機(jī)床循環(huán)調(diào)整，也可以用NC技術(shù)控制滾道凸度的加工并可從加工溝道自動轉(zhuǎn)換到加工滾道，或者做相反的自動轉(zhuǎn)換。日本大阪精機(jī)公司生產(chǎn)的SF-R系列軸承套圈溝（滾）道超精機(jī)采用CNC數(shù)控系統(tǒng)，CRT屏幕顯示，CNC控制超精油石、不同型號軸承工作條件的自動設(shè)定、超精研加工過程工藝參數(shù)的自動變換以及機(jī)床在沒有工件、油石用完或斷裂、油壓或氣壓下降、潤滑冷卻液不足等情況下自動停機(jī)并實(shí)時顯示報警。該機(jī)床為了滿足柔性加工生產(chǎn)線的需要，還設(shè)計了柔性制造系統(tǒng)（FMS)：

①油石自動供給裝置，這個裝置在它的油石送料斗中有10片或更多的新油石，并且能夠自動卸除舊油石更換新油石；

②超精研加工油石自動更換裝置，為了在短時間內(nèi)獲得良好的加工表面，在超精研加工過程中兩個用于粗精超加工的不同等級和硬度的油石在一個工位上可以自動轉(zhuǎn)換，這樣在一個工位上的工藝參數(shù)變化可達(dá)到5項(xiàng)。

超精研加工整個過程包括3個階段：修整、恒定切削、磨光（也有分為：切削階段或自銳階段、半切削階段、光整階段）。并且整個過程在基本工藝參數(shù)（如：工 件速度，油石壓力，油石振蕩頻率和幅度以及潤滑冷卻 液等）不變的條件下自動完成。